رقم الطراز	سلسلة أوتوماتيكية بالكامل	طريقة التحكم	آلي بالكامل
دقة التحديد المكاني	±1 ميكرومتر	درجة حرارة الاختبار	-40℃ ~ 200℃
ضغط الهواء الفراغي	≤-60 كيلوباسكال	وقت الفهرسة	أقل من 240 مللي ثانية

اتجاهات التطبيق

تم تصميم هذا المنصة الأوتوماتية بالكامل للاختبار على رقائق السيليكون، وهي مناسبة لمختلف تطبيقات الاختبار على الرقاقة، بما في ذلك فحص الخصائص الكهربائية للرقائق عالية الدقة، والاختبارات المتعلقة بالموثوقية، وتحليل الأعطال. كما أنها قادرة على التعامل مع بيئات اختبار معقدة تتطلب أحمالاً عالية، وتوزيعًا غير متساوٍ للأحمال، ونطاقًا واسعًا من درجات الحرارة، وتندرج ضمن مجالات الاختبار الآلي عالي الدقة مثل الدوائر المتكاملة، وأجهزة أشباه الموصلات، والأجهزة الضوئية.

الميزات التقنية

1. مصمم خصيصًا لتطبيقات اختبار الرقائق بأنواعها

تُصمَّم هذه المعدات لتلبية سيناريوهات اختبار الرقاقات المتنوعة، وتتوافق مع الاختبار الآلي لمختلف أنواع الشرائح والأجهزة، مما يتيح تلبية متطلبات الاختبار الإنتاجي الصناعي ذات الدقة العالية والاستقرار العالي والكفاءة العالية.

2. دقة تحديد المواقع وخصائص الحركة فائقة الارتفاع

يتم اعتماد نظام تحكم حركي مغلق بالكامل، حيث تصل دقة التموضع إلى ±1 ميكرومتر؛ كما يبلغ الحد الأدنى لزمن الإشارة 240 مللي ثانية. وبالتكامل مع قاعدة من الرخام وهيكل عالي الصلابة، يتم تحقيق حركة منخفضة الاهتزاز وسريعة الضبط.

3. هيكل دعم مستقر عالي التحمل

أقصى قوة رفع تبلغ 750 كجم‑قوة، مع دعم متكامل في الأركان الأربع لمحور Z، مما يضمن انخفاضًا ضئيلًا جدًا في التشوه حتى تحت أحمال عالية أو أوضاع تحميل غير متماثلة، بما يكفل استقرارًا وموثوقية عاليين أثناء عملية الاختبار.

4. نظام تحكم دقيق في درجة الحرارة ضمن نطاق واسع من درجات الحرارة

نطاق درجة الحرارة للاختبار من -40℃ إلى 200℃، مزوّد بوحدة تشاك مطوّرة محليًا، ما ساهم في التغلب على الصعوبات التقنية الجوهرية وتحقيق تحكم مستقر ودقيق في درجة الحرارة ضمن كامل نطاق الدرجات.

وظائف البرنامج

1. وظيفة المحاذاة والكشف الذكي

يدعم ميزة محاذاة الرقاقة (Wafer Alignment) ومحاذاة المسبار (Needle Alignment)، كما يُزوَّد بوظيفتي التعرّف الضوئي على هوية الرقاقة (OCR) وكشف آثار الإبرة (PMI)، مما يحقق توجيهًا دقيقًا آليًا على امتداد العملية بأكملها.

2. سعة كبيرة وقدرة اتصال عالية السرعة

يدعم ما يصل إلى مليوني رقاقة، ويوفر دعمًا لاتصالات GPIB وبروتوكولات الاتصال وفق معيار SECS/GEM، كما يتيح إعادة قياس بعد تعديل المخطط، ويتمتع بتوافق ثنائي الاتجاه مع النماذج الرئيسية المستخدمة في الأسواق العالمية.

3. إدارة وتحرير الخرائط القوية

يدعم استيراد الملفات لإنشاء الخرائط بسرعة، كما يتيح التحرير غير المتصل لخصائص الخرائط والقوالب، ويضم خاصية الاختبار المتكرر بنقرة واحدة، وهو متوافق تمامًا مع صيغ ملفات الخرائط الخاصة بالأجهزة الرئيسية المستخدمة في الأسواق العالمية.

	C300	H300	T300	M300
المناسبات المطبقة	النموذج القياسي	النموذج القياسي	مناسب لثلاث درجات حرارة	مناسب للتخزين
حجم الرقاقة القابل للتطبيق	12 بوصة / 8 بوصات
سمك الرقاقة القابل للتطبيق	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر
الدقة الإجمالية	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر
وقت الفهرسة	240ms	240ms	240ms	240ms
	(س/ص: 10 مم،	(س/ص: 10 مم،	(س/ص: 10 مم،	(س/ص: 10 مم،
	ز: 0.5 مم)	ز: 0.5 مم)	ز: 0.5 مم)	ز: 0.5 مم)
قياس الضغط باستخدام الإبرة	250kgf	250kgf	250kgf	250kgf
درجة حرارة الاختبار	درجة حرارة الغرفة	درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية	-55 إلى 200 درجة مئوية	درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية
طريقة توصيل آلة الاختبار	كابل، رسو صلب	كابل، صلب	كابل، صلب	مفصل، التصويب التلقائي
طريقة توصيل آلة الاختبار	الالتحام المباشر	الإرساء، المباشر الإرساء	الإرساء، المباشر الإرساء	مفصل، التصويب التلقائي
واجهة الاتصال	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232
أبعاد المعدات	1680مم (عرض) × 1890مم، 1680مم (عرض) × 1890مم، 1680مم (عرض) × 2080مم، 2000مم (عرض) × 1890مم
	م(د) * 1490 مم (ع)	مم(د) * 14	م(د) * 1490 مم (ع)	مم(د) * 14
	90 مم (ع) 90 مم (ع)
وزن المعدات	2000kg	2000kg	2000kg	2200kg
متطلبات الطاقة	220 فولت تيار متردد 1.0 كيلو فولت أمبير	220VAC2.0KVA	220VAC5.7KVA	220VAC2.0KVA
ضغط الهواء المضغوط	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال
ضغط الفراغ	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال
※ يدعم أصابع بيرنولي، ويلبي متطلبات الألواح الرقيقة	※ دعم تخصيص درجة الحرارة — -60°C ※	يدعم الاستبدال التلقائي للبطاقات (APC) ※ يدعم التثبيت الاختياري لوحدات تصفية الهواء المدمجة (FFUs) لتلبية متطلبات النقاء العالية

	C200	H200	T200	T200HV
المناسبات المطبقة	النموذج القياسي	النموذج القياسي	مناسب لثلاث درجات حرارة	مناسب للجيل 3.5
حجم الرقاقة القابل للتطبيق	8 بوصة / 6 بوصات / 5 بوصات / 4 بوصات
سمك الرقاقة القابل للتطبيق	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر	200–2,200 ميكرومتر
الدقة الإجمالية	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر	محور XY: ±1 ميكرومتر محور ZF: ±2 ميكرومتر
وقت الفهرسة	250 مللي ثانية (X/Y: 10 مم، ز: 0.5 مم)	250 مللي ثانية (X/Y: 10 مم، Z) ز: 0.5 مم)	50 مللي ثانية (X/Y: 10 مم، Z 0.5 مم)	50 مللي ثانية (XY: 10 مم، ز: 0.5 مم)
قياس الضغط باستخدام الإبرة	150kgf	150kgf	150kgf	150kgf
درجة حرارة الاختبار	درجة حرارة الغرفة	درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية	-55 إلى 200 درجة مئوية	-40 إلى 150 درجة مئوية
طريقة توصيل آلة الاختبار	كابل، رسو صلب	كابل، رسو صلب	كابل، رسو صلب	كابل، رسو صلب
واجهة الاتصال	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232	جي بي آي بي، آر إس232
أبعاد المعدات	1300 مم (عرض) × 1542 مم، 1300 مم (عرض) × 1542 مم، 1300 مم (عرض) × 1740 مم، 1300 مم (عرض) × 1740 مم
أبعاد المعدات	م(د) × 960 ملم (ع)	مم (عرض) × 960 مم (ارتفاع)	م(د) × 960 ملم (ع)	مم (عرض) × 960 مم (ارتفاع)
وزن المعدات	1200kg	1200kg	1200kg	1200kg
متطلبات الطاقة	220 فولت تيار متردد 1.0 كيلو فولت أمبير	220VAC2.0KVA	220 فولت تيار متردد 5.7 كيلو فولت أمبير	220VAC5.7KVA
ضغط الهواء المضغوط	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال	≥0.6 ميجا باسكال
ضغط الفراغ	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال	≤ -60 كيلوباسكال
※ يدعم أصابع بيرنولي، ويلبي متطلبات الألواح الرقيقة	※ دعم تخصيص درجة الحرارة — حتى -60°C	※ يدعم التغيير التلقائي للملف الشخصي (APC)	※ يدعم ترقية FFU، مُحمّل بالكامل	متطلبات نظافة عالية للقدمين